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產(chǎn)品展示 Products
ARC8-MS4工模具真空離子鍍膜機(jī)

詳細(xì)信息

ARC8-MS4 是針對(duì)工模具開(kāi)發(fā)的真空鍍膜機(jī)，主要應(yīng)用于滾齒刀、絲錐、銑刀等，可以鍍制氮化鈦、氮化鋁鈦、氮化鋁鈦鉻等膜層。


具體技術(shù)規(guī)格如下：




真空室尺寸?1000mm * H1000mm
極限真空度1.0*10-4Pa
壓升率0.33Pa/hr（常態(tài)）
冷卻水6ton/hr
占據(jù)空間2*2*1m3
真空室進(jìn)口304不銹鋼，雙層內(nèi)襯，五年質(zhì)保
抽氣系統(tǒng)進(jìn)口萊寶分子泵+萊寶羅茨泵+萊寶粗抽泵
真空檢測(cè)萊寶全量程真空計(jì) 
流量控制Brooks/MKS/AE/可選
轉(zhuǎn)架可拉出轉(zhuǎn)架
磁控濺射4支柱狀濺射靶
陰極電弧

8套復(fù)合磁場(chǎng)陰極弧 （靶材規(guī)格150*20）

電源美國(guó)AE品牌偏壓 ，霍廷格中頻電源
加熱系統(tǒng)最高500度，3根熱電偶監(jiān)測(cè)
冷卻水循環(huán)系統(tǒng)配日本SMC水流開(kāi)關(guān)，智能控制
電氣元件日本三菱PLC、端子、施耐德等空開(kāi)、接觸器。