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復(fù)合磁場(chǎng)ARC8電弧工模具真空鍍膜機(jī)
詳細(xì)信息
復(fù)合磁場(chǎng)ARC8電弧工模具真空鍍膜機(jī) 是針對(duì)小型模具、刀具、銑刀、鉆頭等產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的真空鍍膜機(jī)，采用8個(gè)直徑150mm的弧源組成，磁場(chǎng)設(shè)計(jì)為永磁和電磁復(fù)合磁場(chǎng)，膜層組織細(xì)膩，顆粒小，弧斑運(yùn)動(dòng)速度更快、實(shí)現(xiàn)高效沉積。
具體技術(shù)規(guī)格如下：
| 真空室尺寸 | ?1100mm * H1000mm |
| 極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 壓升率 | 0.33Pa/hr（常態(tài)） |
| 冷卻水 | 6ton/hr |
| 占據(jù)空間 | 3*3*2.5m3 |
| 真空室 | 304不銹鋼，單層內(nèi)襯，五年質(zhì)保 |
| 抽氣系統(tǒng) | 進(jìn)口分子泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵 |
| 真空檢測(cè) | 英福康CDG045D薄膜規(guī) |
| 流量控制 | Brooks/MKS/AE/匯博隆可選 |
| 轉(zhuǎn)架 | 可拉出下轉(zhuǎn)架 |
| 磁控濺射 | 平面濺射靶安裝孔位兩個(gè)（可選配） |
| 陰極電弧 | 4組（8套）（靶材規(guī)格150*20） |
| 偏壓電源 | 德國(guó)霍廷格偏壓Huettinger Bias 36KW |
| 加熱系統(tǒng) | 最高500度，3根熱電偶監(jiān)測(cè) |
| 冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開(kāi)關(guān)，智能控制 |
| 電氣元件 | 日本三菱PLC、端子、施耐德等空開(kāi)、接觸器。 |
